0512-62996345

FIB

  • 产品介绍

      FIB,聚焦离子束,使用聚焦良好的离子束对样品进行修改并且取得图像。FIB主要是通过SEM、STEM、TEM成像之后,取得非常精确地样品截面或者是执行电路修改。

    技术参数
    • 电子束系统分辨率:  1.1nm(20kV)/1.5nm(10kV)/2.5nm(1kV)
    • 离子束系统分辨率: 5nm(30kV,1pA)
    • 电子束加速电压: 0.1-30 kV
    • 离子束加速电压: 0.5-30 kV
    • 电子束流: 4pA-100nA
    • 离子束流: 1pA-50nA