快速封装

苏州硅时代电子科技有限公司
0512-62996345

SEM

  • 产品介绍

    　　此设备为紧凑型场发射扫描电镜，成像分辨率优于10nm。低加速电压成像，有效减少电荷累积，非导电样品，无须喷金喷碳处理，便可直接进行观察。

    技术参数
    • 电子枪：场发射电子源
    • 加速电压：0.5 to 2 kV
    • 束流：0.2 to 1 nA 
    • 分辨率：<10 nm （@1kV）
    • 放大倍数：250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
    • 样品尺寸：最大 100×60 mm
    • 样品高度：最大 30 mm

芯片封装