透射电子显微镜在材料科学 、生物学上应用较多。由于电子易散射或被物体吸收，故穿透力低，样品的密度、厚度等都会影响到最后的成像质量，必须制备更薄的超薄切片，通常为50～100nm。所以用透射电子显微镜观察时的样品需要处理得很薄。

常用方法
• 超薄切片法、冷冻超薄切片法、冷冻蚀刻法、冷冻断裂法等。
• 对于液体样品，通常是挂预处理过的铜网上进行观察。 

 技术参数
• 工作电压80~200 kV
• TEM分析 (分辨率优于2.4?)
• STEM分析 (分辨率优于2?)
• EDS元素分析 (能量分辨率优于136eV)       
• 样品尺寸：单颗粒粉末≤1um