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一片晶圆切割方法

时间:2021-12-11

  目前随着半导体产业的不断发展,由晶圆单位面积内产出的芯片颗粒也越来越多,这样效益更高。我们也可以通过减少晶圆切割的宽度来降低切割道所占用面积,增加芯片颗粒数量。
  传统的金刚石砂轮划片需要较大的划片道,通常在80um左右。隐形激光切割划片道只需要20um,但激光切割的端面没有刀片切割的整齐。若是刀片切割,不同的衬底材料需要选择不同刀片,如软刀、硬刀、刀片的目数等。
  另外随着半导体切割技术的发展,根据工艺要求,也发明出了不同的切割方法,更能优化芯片的切割性能。