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时间：2022-06-10
晶圆切割的激光机具有划片速度快，效率高，成片率高，精度高等显著优点，与此同时激光切割也伴随着切割难度大的问题，以砷化镓晶圆切割为例，激光切割中长产生的难题是砷化镓残余物的重铸以及切割接口会产生微裂痕。
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