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时间：2022-08-06
晶圆切割过程中可能会发生崩边现象，大概分为三种类型初期chipping、重复循环chipping 、其他chipping,产生的原因不同。初期chipping一般是因为刀片安装倾斜，刀片未修成真圆，这种情况只需要检查刀片安装精度，重新进行预切割既可。循环chipping则是因为刀片表面受到冲击，刀片表面有大颗粒金刚石突起，这种情况需要检查刀片表面合理解决即可。
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