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半导体激光隐形晶圆切割机的用途

时间:2021-11-19

  晶圆切割工艺是半导体封装的一道重要的前序工艺,传统的切割方式是砂轮划片,属于接触式切割,会对衬底表面造成一定的损伤,带来缺陷,影响芯片性能。而激光隐形切割就可以避免对晶圆造成类似的损伤,极大程度提高了切割的良率。
  激光隐形晶圆切割机的作用:利用高能激光束对样品表面进行加工,经过的区域样品材料由于汽化而被去除,主要用于金属、Si、Ge、AsGa及其他半导体衬底材料的切割。除了成品率高,还有无污染、切口光滑、精度高、切割道窄等优点。